“石英玻璃”,顾名思义,是一种玻璃。与其他玻璃含有多种组成成分不同,石英玻璃的组成成分里几乎只有SiO2。石英玻璃中所含的金属杂质极其微量,多则为几10ppm(十万分之一),少的不到10ppb(亿分之一),可见石英玻璃的纯度极高,具有其他玻璃所不具备的优越之处。
石英玻璃的主要特长
透光性好 不仅是人眼可见的可视光,石英玻璃对从紫外线到红外线的广泛波长范围内的光都具有良好的透光性。 | 高纯度 石英玻璃的组成成分只有SiO2,金属杂质的含量极少。 |
耐热性高 石英玻璃的软化点非常高,约为1700℃,在高达1000℃的高温环境中仍可以使用。 | 不易被药品侵蚀 石英玻璃的化学性质极其稳定,具有优越的耐药品性。但是它会受氟酸、磷酸和碱性溶液的侵蚀,因此长时间使用时需加以注意。 |
石英玻璃的代表性原材料列表
分类 | 制造方法 | 等级名称 | 特征 |
熔融石英 | 氢氧熔融 | N | 气泡少的半导体用标准级 |
NP | N的高纯度品 |
S | 透光性优越的超高纯度熔融石英玻璃 |
OP-1 | 半导体用白色不透明石英 |
OP-3 | 半导体用白色不透明石英的高纯度品 |
电气熔融 | HR | 耐热性优越的半导体用标准级 |
HRP | HR的高纯度品 |
合成石英 | 火焰水解 (直接法) | ES | 面向通用光学 |
ESL-1 | 1 无方向条纹 |
ESL-1000 | 1 无方向条纹,对应准分子激光 |
ESL-2 | 3 无方向条纹 |
ESL-2000 | 3 无方向条纹,对应准分子激光 |
火焰水解 (VAD法) | ED-H | 3 无方向条纹,含氢级 |
ED-C | 完全无氢级(OH基浓度<1ppm) |